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首先什么是x熒光射線？
當一束高能粒子與原子相互作用的時候，它的能量如果大于或等于原子某一軌道電子的結合能，需要逐出該軌道電子，對應的形成一個空穴，并且處于激發狀態的是原子。K層電子被擊出稱為K激發態，L激發態是同樣L層電子被擊出。然后在很短的時間里，由于激發態不穩定，原子恢復到平衡態由于外層電子向空穴躍遷作用，來降低原子能級。當在K層產生空穴，不同外層的電子（L、M、N…層）放出的能量都不一樣在向空穴躍遷的時候，一系列輻射統稱為K系輻射產生了。一樣的情況，當空穴產生在L層，所產生一系列輻射則統稱為L系輻射。當較外層的電子躍遷（符合量子力學理論）至內層空穴所釋放的能量以輻射的形式放出，由此X熒光產生了。而X熒光的能量與入射的能量沒有關系，它只等于原子兩能級之間的能量差。由于能量差由該元素原子的殼層電子能級完全決定，所以是該元素的特征X射線，也叫熒光X射線或叫X熒光。
其次是X射線熒光光譜儀基本原理
X射線熒光光譜儀（XRF）是由激發源（X射線管）和探測系統組成的。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品。X射線熒光光譜儀的每一種元素會放射出二次X射線在受到激發的樣品中，然而具有特定的能量特性或波長特性是由不同的元素所放射出的二次X射線。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。之后成樣品中各種元素的種類及含量被儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成。
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